高纯度、高洁净气体管道的施工不同于一般工业管道，稍有疏忽便可能破坏气体的质量。因此，要理解安装气体质量的重大意义，要求严格遵守设计和施工要求，工作严肃认真、一丝不苟，要高度重视各个细小环节，建成符合要求的管路系统。高纯气体要求做到以下几个方面:

1、外观的检查工作

(1)管道系统的管材、阀门及所有附件，严格设计要求选用，不得随意更改或代换。

(2)所有管材应放在室内精心保管，不得露天堆放、日晒和雨淋。

(3)管段端头要用塑料或橡胶密封罩加以密封，不得脱落、。

2、配管的准备工作

(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管，下料时均不得采用氧、乙炔焰切割。无论是机械或手工下料，分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。

(2)高纯气体指出，管子切口应当与管轴线严格垂直，切口表面平整，不得有裂纹、毛刺。

(3)各种阀门应在安装前清洗，清洗前先应研磨、试压合格，然后拆成零部件，并在三或溶剂中浸泡1~1.5h。

3、金属管道的连接

(1)管道材质：用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:低碳不锈钢、铜管等。

(2)连接方式:焊接、螺纹连接、法兰连接等。

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视频作者：马鞍山新桦气体有限公司

2010-2017年石油加工及炼焦业城镇固定资产投资总额变化情况（单位：亿元，%）

2 冶金工业总体保持增长 特种气体需求进一步扩大

2011-2016年，常用有色金属冶炼行业市场规模总体呈增长趋势，根据前瞻产业研究院发布的《2018-2023年中国特种气体行业产销需求与投资预测分析报告》初步估算，2017年超过22000亿元，对特种气体的需求进一步扩大。

2011-2017年常用有色金属冶炼行业市场规模变化（单位：亿元，%）

二、有毒气体,半导体气体很多是对人体有害有毒,如PH3、ASH3、B2H6、CLF3、SIH2CL2、SIHCL3等；

三、助燃气体,这些高纯气体自身不能燃烧,但若与可燃物、可燃气体接触,将帮助燃烧,应在储运\使用中们加注意,如o2\n2o\f2\hf等窒息性气体；

四、还有气体性质稳定,也无毒性,但当它们排放在不通风的场所时,空气中氧含量降到18%以下时,因缺氧会使人呼吸困难，若不能及时解救也会有危险甚至，这类气体有氮气、氩气二氧化碳、氦气等。

五、腐蚀性气体，通常遇水就显示其腐蚀性，如hcl、pocl3、hf等。许多气体同时兼有多种性质，在这些气体输送、储运、使用中应予重视。

半导体生产用高纯气体不仅种类多，而且更重要的是对气体品质在很严格的要求。